發(fā)布時(shí)間:2020-05-08
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1. 簡(jiǎn)介
晶圓級(jí)封裝技術(shù)是什么?晶圓級(jí)封裝是指在將要制造集成電路的晶圓分離成單獨(dú)的電路之前,通過在每個(gè)電路周圍施加封裝來制造集成電路。由于在部件尺寸以及生產(chǎn)時(shí)間和成本方面的優(yōu)勢(shì),該技術(shù)在集成電路行業(yè)中迅速流行起來。以此方式制造的組件被認(rèn)為是芯片級(jí)封裝的一種。這意味著其尺寸幾乎與內(nèi)部電子電路所位于的裸片的尺寸相同。
2. 技術(shù)要點(diǎn)
集成電路的常規(guī)制造通常開始于將在其上制造電路的硅晶片的生產(chǎn)。通常將純硅錠切成薄片,稱為晶圓,這是建立微電子電路的基礎(chǔ)。這些電路通過稱為晶圓切割的工藝來分離。分離后,將它們封裝成單獨(dú)的組件,然后將焊料引線施加到封裝上。
晶圓級(jí)封裝在封裝方式上與傳統(tǒng)制造不同。該技術(shù)不是將電路分開然后在繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試之前應(yīng)用封裝和引線,而是用于集成多個(gè)步驟。在晶片切割之前,將封裝的頂部和底部以及焊錫引線應(yīng)用于每個(gè)集成電路。測(cè)試通常也發(fā)生在晶片切割之前。更高級(jí)的應(yīng)用是利用硅穿孔TSV技術(shù)進(jìn)行堆疊,銅柱連接鍵合等晶圓鍵合技術(shù)。
像許多其他常見的組件封裝類型一樣,用晶圓級(jí)封裝制造的集成電路是一種表面安裝技術(shù)。通過熔化附著在元件上的焊球,將表面安裝器件直接應(yīng)用于電路板的表面。晶圓級(jí)組件通??梢耘c其他表面貼裝設(shè)備類似地使用。例如,它們通常可以在卷帶機(jī)上,以用于稱為拾取和放置機(jī)器的自動(dòng)化組件放置系統(tǒng)。
3. 優(yōu)點(diǎn)
晶圓級(jí)封裝的實(shí)現(xiàn)可以帶來許多經(jīng)濟(jì)利益。它允許晶圓制造,封裝和測(cè)試的集成,從而簡(jiǎn)化制造過程??s短的制造周期時(shí)間可提高生產(chǎn)量并降低每單位制造成本。
晶圓級(jí)封裝還可以減小封裝尺寸,從而節(jié)省材料并進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本。然而,更重要的是,減小的封裝尺寸允許組件用于更廣范的高級(jí)產(chǎn)品中。晶圓級(jí)封裝的主要市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)因素之一是需要更小的組件尺寸,尤其是減小封裝高度。
用晶圓級(jí)封裝制造的組件被廣范用于手機(jī)等消費(fèi)電子產(chǎn)品中。這主要是由于市場(chǎng)對(duì)更小,更輕的電子設(shè)備的需求,這些電子設(shè)備可以以越來越復(fù)雜的方式使用。例如,除了簡(jiǎn)單的通話外,許多手機(jī)還具有多種功能,例如拍照或錄制視頻。晶圓級(jí)封裝也已用于多種其他應(yīng)用中。例如,它們用于汽車輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可植入醫(yī)療設(shè)備,君事數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)等。
4. 設(shè)備
晶圓級(jí)封裝能用的設(shè)備包括EVG晶圓鍵合機(jī),掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī),納米壓印設(shè)備,另外可能還需要膜厚測(cè)量?jī)x,輪廓儀,晶圓清洗機(jī)等用于晶圓形貌測(cè)量和晶圓表面清洗去污等工藝過程。