發(fā)布時間:2011-04-08
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F30-PD-3薄膜厚度動態(tài)監(jiān)測儀主要應用于動態(tài)檢測,可針對樣品的沉積速率、厚度等實時監(jiān)測,測量精度可以達到1%,動態(tài)可以監(jiān)測100nm以上厚度膜層。F30-PD-3可以同時支持多達3個探頭,可以在一個鍍膜腔體中的不同位置進行監(jiān)控,也可以同時監(jiān)控3臺設備的生長情況,性價比非常高。
(該系統(tǒng)將于2011年1月交付,安裝和和驗收)